真空紫外光譜系統VUVAS
簡 述：
McPherson 的VUVAS 系統主要應用于120nm 到400nm 的光譜分析， 從干凈、無塵、充氮氣清潔或真空封裝，到紫外增強的光學器件、光源、探測器，再到電腦優化的光學系統，所有的VUVAS 系統的部件設計都是為了提高光學分析的效果和簡化用戶的測量任務。
品 牌：
美國 Mcpherson
產品型號：
- VUVAS
這是迄今為止，用于深紫外和真空紫外測量*好的儀器。相比其他儀器廠家，McPherson 的光譜儀憑借其悠久的歷史和卓越的技術，特別在很少有光譜儀可以覆蓋到的120nm-400nm 光譜區域, 有著當之無愧的領先地位。在紫外激光器、光學器件、晶體材料、以及共振拉曼儀器的研發和制造中，以及基礎研究，都需要用到此波段的單色儀來作分析、鑒定和測試。
McPherson 的VUVAS 系統主要應用于120nm 到400nm 的光譜分析， 從干凈、無塵、充氮氣清潔或真空封裝，到紫外增強的光學器件、光源、探測器，再到電腦優化的光學系統，所有的VUVAS 系統的部件設計都是為了提高光學分析的效果和簡化用戶的測量任務。
VUVAS 系統也有用于氣體和液體樣品的樣品架。大多數用戶測量覆蓋在基板上的樣品的透射，標配有一個XYZ 可調的樣品架，對于一些特殊應用，可選低溫單樣品裝置和大面積樣品掃描附件。VUVAS 系統還可以測量反射光譜并且還很容易改變光到樣品表面的入射角。另外探測器也是可調的，它可以保持theta/2-theta 的幾何學角度來做鏡面反射率測量，或者偏離這個角度來做散射和色散測量。
VUVAS 的設計可以提供絕對測量，一個探測器可以同時作為參考探測器及*終的透射或反射的測量探測器，這種方法使得用戶在不使用額外附件的情況下得到更好的探測效果。在波長小于350nm 時，可以用于標準樣品的材料很少，一個原因是材料需要能夠接受高能量紫外線的照射，另外對污染較敏感。在157nm 的光波照射下，若有單層水，氧氣或油污染的存在，光會損失15%。VUVAS 系統的真空設計，為光譜測量提供了有效而精確的數據。
VUVAS 集成系統是一個整體解決方案。一鍵式真空（N2 清潔）控制系統和軟件設計可以讓用戶更放心也更方便的進行高品質的深紫外和真空紫外測量，它彌補了許多實驗室對于高性能紫外可見光譜儀檢測的設備需求，并在深紫外和真空紫外區域提供了堅實而卓越的性能。
真空紫外光譜系統VUVAS特點
McPherson 的VUVAS 系統主要應用于120nm 到400nm 的光譜分析， 從干凈、無塵、充氮氣清潔或真空封裝，到紫外增強的光學器件、光源、探測器，再到電腦優化的光學系統，所有的VUVAS 系統的部件設計都是為了提高光學分析的效果和簡化用戶的測量任務。
VUVAS 系統也有用于氣體和液體樣品的樣品架。大多數用戶測量覆蓋在基板上的樣品的透射，標配有一個XYZ 可調的樣品架，對于一些特殊應用，可選低溫單樣品裝置和大面積樣品掃描附件。VUVAS 系統還可以測量反射光譜并且還很容易改變光到樣品表面的入射角。另外探測器也是可調的，它可以保持theta/2-theta 的幾何學角度來做鏡面反射率測量，或者偏離這個角度來做散射和色散測量。
VUVAS 的設計可以提供絕對測量，一個探測器可以同時作為參考探測器及*終的透射或反射的測量探測器，這種方法使得用戶在不使用額外附件的情況下得到更好的探測效果。在波長小于350nm 時，可以用于標準樣品的材料很少，一個原因是材料需要能夠接受高能量紫外線的照射，另外對污染較敏感。在157nm 的光波照射下，若有單層水，氧氣或油污染的存在，光會損失15%。VUVAS 系統的真空設計，為光譜測量提供了有效而精確的數據。
VUVAS 集成系統是一個整體解決方案。一鍵式真空（N2 清潔）控制系統和軟件設計可以讓用戶更放心也更方便的進行高品質的深紫外和真空紫外測量，它彌補了許多實驗室對于高性能紫外可見光譜儀檢測的設備需求，并在深紫外和真空紫外區域提供了堅實而卓越的性能。
真空紫外光譜系統VUVAS特點
• 校正過的紫外光譜儀設計
• 可選抽真空或充氮氣兩種方式
• 115nm 到380nm 光譜范圍
• 可調樣品和探測器角度
• 透射, 反射和散射測量
• 可選大面積樣品掃描附件
• 可選低溫樣品裝置
• 可選偏振附件
• 可選紫外發光附件
• 光電探測器紫外光譜響應度測試
透射
反射
標準偏差
透射
反射
標準偏差
McPherson VUVAS 可以測量樣品的透射和反射，樣品直徑*大可達350mm, 整個區域測量精度約為0.1%，在特定的波長可以達到更好的精度， 比如193nm 和157nm。 McPherson VUVAS 系統采用氮氣清潔或抽真空的方式，可以很容易到達深紫外和真空紫外區域（120 to 380nm）的要求, 該系統可直接和晶圓處理系統聯用，測量室是干凈和無塵的，確保您有價值樣品的安全性和高質量的測試。
測量不同的光學樣品的吸收，透射和反射。選用真空紫外、極紫外或紫外- 可見- 紅外光譜儀。用不銹鋼反射裝置放置多個樣品，進行5°到 180°（相應的探測器從10°到180°的角度）Theta / 2-theta 測量和非鏡面散射測量。一些譜儀可用積分球做漫反射測量。還可選加熱或制冷樣品架，測量可以在真空下，充氮氛圍下或大氣環境下進行。
VUVAS 系統，如果配上已標定的標準探測器，可用于測試光電探測器件深紫外的光譜響應度。
測量不同的光學樣品的吸收，透射和反射。選用真空紫外、極紫外或紫外- 可見- 紅外光譜儀。用不銹鋼反射裝置放置多個樣品，進行5°到 180°（相應的探測器從10°到180°的角度）Theta / 2-theta 測量和非鏡面散射測量。一些譜儀可用積分球做漫反射測量。還可選加熱或制冷樣品架，測量可以在真空下，充氮氛圍下或大氣環境下進行。
VUVAS 系統，如果配上已標定的標準探測器，可用于測試光電探測器件深紫外的光譜響應度。
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