硅晶圓檢測儀SIT-200
簡 述：
SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計量的方法設計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規測厚采用寬帶光源不同，可調諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測量的動態范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測量，例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。
品 牌：
日本 Alnair Labs
產品型號：
- SIT-200
SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計量的方法設計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規測厚采用寬帶光源不同，可調諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測量的動態范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測量，例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。
• 全光學，非接觸式晶圓厚度傳感
• 高動態范圍，可測量不規則表面
• 支持濕刻制程中實時測量
• 高靈敏度、高準確度、高速度
• 遠程控制
測量原理
技術指標
技術指標
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可測樣品 |
硅晶圓 |
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可測厚度范圍 |
10 - 500 (n=3.5) |
m |
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精密可調諧激光 |
1515 - 1585 |
nm |
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光功率 |
0.6 |
mW |
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指引光 |
紅色，Class 1M |
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測量時間 |
最短 20 |
ms |
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可重復性 |
<0.1 (3-σ) |
m |
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監控輸出 |
干涉信號輸出 |
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PC 界面 |
Ethernet |
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精密掃頻激光光源以高速度調諧激光波長。樣品前、后表面反射的激光的干涉信號經過PD 探測后，根據波長- 干涉信號強度的關系即可得到晶圓厚度。
13810233784
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