深紫外單縱模固體激光器Ixion193
簡 述:
Ixion193為全固化單頻激光器,其線寬達到變換極限,可用于光學計量、193nm 步進光學系統校準、高功率準分子激光器種子等。
品 牌:
德國 Xiton Photonics
產品型號:
- Ixion193
深紫外單縱模固體激光器Ixion193
IXION 193 為全固化單頻激光器,其線寬達到變換極限,可用于光學計量、193nm 步進光學系統校準、高功率準分子激光器種子等。
典型應用:
• 光譜儀校準;
• 光刻;
• 干涉儀;
• 193nm 計量測量
• 準分子激光器種子源
IXION 193 為全固化單頻激光器,其線寬達到變換極限,可用于光學計量、193nm 步進光學系統校準、高功率準分子激光器種子等。
典型應用:
• 光譜儀校準;
• 光刻;
• 干涉儀;
• 193nm 計量測量
• 準分子激光器種子源
深紫外單縱模固體激光器Ixion193典型參數
| 型 號 | IXION-193 SLM |
| 波 長 | 193.368 nm |
| 平均功率 | 10 mW |
| 脈 寬 | 8-12 ns |
| 脈沖能量 | 1.6µJ |
| 重復頻率 | 1-15 kHz |
| M2 因子 | < 1.6 |
| 線 寬 | <80MHz/0.01pm/0.0027cm-1 |
| 調諧范圍 | >80GHz/10pm/2.6cm-1 |
| 相干長度 | >2m |
脈沖寬度

光譜帶寬

長時間功率穩定性

光束質量

光譜帶寬

長時間功率穩定性

光束質量





































































































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