深紫外單縱模固體激光器Ixion193
簡(jiǎn) 述:
Ixion193為全固化單頻激光器,其線寬達(dá)到變換極限,可用于光學(xué)計(jì)量、193nm 步進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)、高功率準(zhǔn)分子激光器種子等。
品 牌:
德國(guó) Xiton Photonics
產(chǎn)品型號(hào):
- Ixion193
深紫外單縱模固體激光器Ixion193
IXION 193 為全固化單頻激光器,其線寬達(dá)到變換極限,可用于光學(xué)計(jì)量、193nm 步進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)、高功率準(zhǔn)分子激光器種子等。
典型應(yīng)用:
• 光譜儀校準(zhǔn);
• 光刻;
• 干涉儀;
• 193nm 計(jì)量測(cè)量
• 準(zhǔn)分子激光器種子源
IXION 193 為全固化單頻激光器,其線寬達(dá)到變換極限,可用于光學(xué)計(jì)量、193nm 步進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)、高功率準(zhǔn)分子激光器種子等。
典型應(yīng)用:
• 光譜儀校準(zhǔn);
• 光刻;
• 干涉儀;
• 193nm 計(jì)量測(cè)量
• 準(zhǔn)分子激光器種子源
深紫外單縱模固體激光器Ixion193典型參數(shù)
| 型 號(hào) | IXION-193 SLM |
| 波 長(zhǎng) | 193.368 nm |
| 平均功率 | 10 mW |
| 脈 寬 | 8-12 ns |
| 脈沖能量 | 1.6µJ |
| 重復(fù)頻率 | 1-15 kHz |
| M2 因子 | < 1.6 |
| 線 寬 | <80MHz/0.01pm/0.0027cm-1 |
| 調(diào)諧范圍 | >80GHz/10pm/2.6cm-1 |
| 相干長(zhǎng)度 | >2m |
脈沖寬度

光譜帶寬

長(zhǎng)時(shí)間功率穩(wěn)定性

光束質(zhì)量

光譜帶寬

長(zhǎng)時(shí)間功率穩(wěn)定性

光束質(zhì)量





































































































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